Во комбинација со сеопфатните предности на перформансите на традиционалните материјали за подлоги Al2O3 и BeO, алуминиум нитридната (AlN) керамика, која има висока топлинска спроводливост (теоретската топлинска спроводливост на монокристалот е 275 W/m▪k, теоретската топлинска спроводливост на поликристалот е 70~210 W/m▪k), ниска диелектрична константа, коефициент на топлинска експанзија во согласност со монокристалниот силициум и добри електрични изолациски својства, е идеален материјал за подлоги за кола и пакување во микроелектронската индустрија. Исто така е важен материјал за високотемпературни структурни керамички компоненти поради добрите високотемпературни механички својства, термички својства и хемиска стабилност.
Теоретската густина на AlN е 3,26 g/cm3, тврдоста MOHS е 7-8, отпорноста на собна температура е поголема од 1016 Ωm, а термичката експанзивност е 3,5 × 10-6/℃ (собна температура од 200℃). Чистата AlN керамика е безбојна и транспарентна, но може да биде во различни бои како сива, сиво-бела или светло жолта, поради нечистотиите.
Покрај високата топлинска спроводливост, AlN керамиката има и следниве предности:
1. Добра електрична изолација;
2. Сличен коефициент на термичка експанзија со силициумски монокристал, супериорен во однос на материјали како Al2O3 и BeO;
3. Висока механичка цврстина и слична цврстина на свиткување со керамика од Al2O3;
4. Умерена диелектрична константа и диелектричен губиток;
5. Во споредба со BeO, топлинската спроводливост на AlN керамиката е помалку засегната од температурата, особено над 200℃;
6. Отпорност на висока температура и отпорност на корозија;
7. Нетоксичен;
8. Да се примени во полупроводничката индустрија, хемиската металургија и други индустриски области.
Време на објавување: 14 јули 2023 година