Керамички краен ефектор обложен со тефлон – нелеплива површина за чувствително ракување со плочки
Керамичкиот краен ефектор обложен со тефлон (PTFE) од St.Cera комбинира високоцврста подлога од алумина со униформен PTFE слој со ниско триење (дебелина 15–30 μm). Облогата обезбедува екстремно низок коефициент на триење (≤0,1), одлична хемиска отпорност и својства што не лепат, спречувајќи лепење на плочките и елиминирајќи ја контаминацијата на задната страна. Основната керамичка подлога (99,8% Al₂O₃) нуди висока цврстина на свиткување (361–1000 MPa), отпорност на абење и термичка стабилност до 260°C (граница на обложување). Овој краен ефектор е идеален за ракување со деликатни, тенки или лепливи плочки (на пр., по фоторезист премачкување или хемиски процеси).
Спецификации (врз основа на подлога од 99,8% Al₂O₃ со PTFE облога):
| Имот | Вредност |
| Материјал на подлогата | 99,8% Алумина (слонова коска) |
| Материјал за обложување | PTFE (тефлон) |
| Дебелина на облогата | 15–30 μm |
| Коефициент на триење (обложен) | ≤0,1 |
| Јачина на свиткување на подлогата (Al₂O₃) | 361 МПа |
| Тврдост на подлогата (Al₂O₃) | 16 GPA |
| Густина на подлогата | 3,93 g/cm³ |
| Максимална работна температура (граница за премачкување) | 260°C |
| Рапавост на површината (пред премачкување) | Ra ≤0,4 μm |
| Диелектрична јачина (подлога) | 15×10⁶ V/m |
Забелешка: PTFE премазот ја ограничува максималната температура на 260°C; за апликации со повисока температура, разгледајте непремачкана керамика или други премази.
Апликации:
- · Ракување со плотни по фоторезистично премачкување (лепливи површини)
- · Пренесување на тенки или кршливи вафли (спречува лепење)
- · Алатки за инспекција и метрологија на полупроводници
- · Автоматизација на чисти простории каде што контаминацијата со честички мора да се минимизира
Процес на производство:
Синтерувана керамичка подлога и прецизно брусење → грубост на површината (плазматско гравирање или пескарење) → PTFE премачкување со прскање → термичко стврднување на 380°C → завршна инспекција. Секој краен ефектор се проверува за дебелина на премазот (вртложна струја), адхезија (тест за попречно сечење ASTM D3359) и коефициент на триење.
Контрола на квалитет:
100% визуелна инспекција за дупчиња или меурчиња; униформност на дебелината на облогата во рамките на ±5 μm; без деламинација по тест за свиткување од 90° на купон за сведочење. Димензионална проверка според толеранцијата на OEM (должина ±0,05 mm, рамност ≤0,1 mm).
Предности во однос на непремачканите или другите премази:
- · Нелеплива површина спречува лепење и кршење на плочката
- · Најнизок коефициент на триење меѓу керамичките премази
- · Одлична хемиска отпорност (киселини, бази, растворувачи)
- · Го намалува создавањето на честички со спречување на пренос на материјал
Ограничувања (забелешки за отстапување на материјалот):
PTFE премазот не е изведен од дадените табели со својства на материјалот (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Својствата на подлогата строго го следат приложениот лист со податоци (99,8% Al₂O₃). Својствата на премазот се базираат на индустриски стандардни спецификации на PTFE, бидејќи не се дадени податоци за премазот. За апликации што надминуваат 260°C, се препорачува непремачкан керамички краен ефектор.*
Прилагодување:
Достапно во должини од 150–1500 mm, облици на врвови (држач за рабови, Бернули, рамни), шаблони на прирабници за монтирање според OEM цртеж. Делумно премачкување (само контактни површини) или целосно покривање по избор.
Побарајте примерок за тестирање на адхезија и триење.
