Прстен за изолација од алуминиум PVD за системи за физичко таложење на пареа

PVD изолациониот прстен на St.Cera е произведен од 99,8% алумина со висока чистота (Al₂O₃) за употреба во системи за физичко таложење на пареа (PVD). Прстенот обезбедува електрична изолација помеѓу компонентите на комората, спречувајќи искрење и обезбедувајќи стабилно работење со плазма. Клучните својства вклучуваат висока диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m), специфичен отпор >10¹⁴ Ω·mm²/m и термичка стабилност до 1600°C. Нашите прецизни можности за обработка достигнуваат надворешни дијаметри до 600 mm, внатрешни дијаметри до 0,2 mm, рамност од 0,003 mm и завршна обработка на површината Ra0,1. Нултата порозност и хемиската инертност на прстенот обезбедуваат долгорочна сигурност во агресивни средини на распрскување.

Спецификации (врз основа на 99,8% Al)₂O₃и производствени капацитети на St.Cera):

Апликации:

• · Изолатори на целна задна плоча во PVD системи
• · Изолатори за проводници на комората
• · Изолатори на заштитни прстени во системи за распрскување
• · Високонапонска изолација во плазма комори

Прецизност на производство:

Концентричност: 0,01 мм, заобленост: 0,002 мм, праволинијa: 0,005 мм, нормалност: 0,005 мм, потврдено од CMM.

AПредности во однос на полимерните изолатори:

• · Издржува 1600°C наспроти ограничувањето на полимерот <300°C
• · Без испуштање гасови – го одржува интегритетот на вакуумот
• · Отпорен на плазма ерозија и хемиски напад

Прилагодување:

Достапни се пресеци по мерка, карактеристики за монтирање, профили на скалила и повеќе дизајни на концентрични прстени.