Алумина вакуумски стегач за прецизно сечење и мелење

Вакуум стегалката од алуминиум оксид на St.Cera е произведена од 99,8% Al₂O₃ со висока чистота со прецизно обработени вакуумски жлебови. Нашата прецизност за мелење постигнува рамност од 0,003 mm и паралелизам од 0,002 mm, обезбедувајќи фиксација на плочките без искривување за време на сечење, мелење одзади и инспекција. Материјалот нуди висока цврстина на свиткување (361 MPa), тврдост (16 GPa) и термичка стабилност до 800°C. Достапна е во кружни форми со надворешен дијаметар (OD) до 600 mm и правоаголни форми до 1500 mm должина. Вакуумските жлебови се дизајнирани по мерка (концентрични, радијални или мрежести модели) за да одговараат на специфичните барања на процесот. Секоја стегалка се проверува со ласерски интерферометар и се испорачува со извештај за верификација на рамноста.

Спецификации (врз основа на 99,8% Al)₂O₃и производствени капацитети на St.Cera):

Апликации:

• · Сечење и шкрипење на вафли (200mm/300mm и поголеми)
• · Мелење одзади на тенки вафли
• · Оптичка инспекција и сондирање
• · Ракување со големи подлоги

Прецизност на производство:

• · Правост: 0,005 мм
• · Нормалност: 0,005 мм
• · Заобленост: 0,002 мм
• · Концентричност: 0,01 мм