Порозен SiC вакуумски стегач со метална подлога за ракување со искривени и тенки плочки

Керамичката вакуумска стега на St.Cera базирана на метал комбинира порозен керамички слој од силициум карбид (SiC) со прецизно обработена метална основа (алуминиум или не'рѓосувачки челик). Порозниот SiC материјал (сино-црн, порозност 35–40%, големина на порите 20–30 μm, пропустливост 60 ml/cm²·мин) обезбедува рамномерна, нежна распределба на вакуум низ целата површина на плочката, елиминирајќи ги ознаките на рабовите и овозможувајќи бесконтактна поддршка за тенки (≤100 μm) или искривени плочки. SiC слојот нуди ниска термичка експанзија (3,5×10⁻⁶/℃), термичка стабилност до 1000°C и умерена цврстина на свиткување (32–35 MPa). Металната основа додава структурна цврстина, лесно монтирање преку навојни отвори и заштита од кршливо кршење. Оваа стега е идеална за брусење одзади, сечење и обработка на плочки на висока температура каде што рамномерниот вакуум и термичката компатибилност се критични.

Спецификации (врз основа на доставените податоци за порозен SiC):

Забелешка: Јакоста на свиткување е помала од густиот SiC поради порозноста. Својствата на металната основа не се од керамичките маси.

Апликации:

• · Задна мелење на тенки плочки (≤100 μm)
• · Монтирање на искривена плочка за сечење
• · Високотемпературно откопчување на плочки (до 1000°C)
• · Вакуумско фиксирање за порозни или кршливи подлоги

Производство:

Порозна SiC плоча (формирана со средства за формирање пори, синтерувана) → прелиена до рамност ≤10 μm → метална основа обработена со вакуумски отвори и карактеристики за монтирање → епоксидно лепење или механичко стегање → тест за истекување на хелиум.

Контрола на квалитет:

• · Порозноста и големината на порите се потврдени со SEM
• · Тест за пропустливост (проток на воздух)
• · Рамност мерена со ласерски интерферометар
• · Стапка на истекување на хелиум <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

Предности во однос на жлебовитите или густите керамички стеги:

• · Без обележување на плочката – униформен вакуум без дискретни дупки
• · Самочистење на порите – намалено затнување
• · Се справува со искривени плочки (лак до 500 μm)
• · Металната основа спречува кршливо кршење и ја поедноставува интеграцијата

Ограничувања:

• · Помала цврстина на свиткување (32–35 MPa) – избегнувајте ударно оптоварување
• · Работната температура е ограничена на 1000°C (порозен SiC), но епоксидната врска на метална основа е ограничена на ≤200°C освен ако не е механички стегната
• · Не е за вакуум под висок притисок (порозната структура го ограничува максималниот диференцијален вакуум)

Прилагодување:

• · Метална основа: алуминиум (лесен), не'рѓосувачки челик (отпорен на корозија), Invar (мала експанзија)
• · Лепливост: епоксидна смола (≤200°C) или механичка стега (до 500°C)
• · Прстен за запечатување на рабовите за контрола на вакуум на зоната

Забелешка: Испорачаната цврстина на свиткување (32–35 MPa) е значително помала од густата керамика поради порозноста. Ракувајте внимателно за да избегнете кршење на рабовите.