Керамички прстен од алумина со висока чистота за CVD / PVD процесни комори

Керамичкиот прстен на St.Cera е специјално дизајниран за употреба во процесни комори со CVD (хемиско таложење на пареа) и PVD (физичко таложење на пареа). Изработен од 99,8% алуминиум оксид со висока чистота (Al₂O₃), овој прстен служи како облога на комората, фокусен прстен или компонента на комплетот за процесирање за ограничување на плазмата и заштита на ѕидовите на комората од ерозија. Материјалот нуди одлична отпорност на плазма, висока диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m) и термичка стабилност до 1600°C, обезбедувајќи долг работен век во агресивни средини со плазма базирана на флуор. Прецизните димензионални толеранции (±0,05 mm на ID/OD) и рамноста (≤10 μm) овозможуваат конзистентно позиционирање на работ на плочата, подобрувајќи ја униформноста на таложењето и намалувајќи го генерирањето на честички.

Спецификации (врз основа на 99,8% Al₂O₃):

Апликации:

• · Фокусни прстени на CVD комората и прстени на рабовите
• · Прстени за заштита на PVD комората и прстени за стегање
• · Облоги на комората за гравирање и прстени за покривање
• · Плазма прстени за ограничување во диелектрични системи за гравирање

Процес на производство:

Изостатско пресување → зелена обработка → синтерување на 1600°C → CNC брусење со ID/OD → површинско ламинирање → ултразвучно чистење → 100% CMM инспекција. Ултра мазната површинска обработка (Ra ≤0,4 μm) го минимизира адхезијата на честичките.

Контрола на квалитет:

• · 100% димензионална проверка (ID, OD, дебелина, рамномерност)
• · Инспекција на пенетрантот на бојата за површински микропукнатини
• · Тест за диелектрична цврстина според ASTM D149
• · Нема видлива промена на бојата или порозност под микроскоп од 20×

Предности во однос на металните или кварцните прстени:

• · 5–10 пати подолг век на траење од алуминиумските прстени во флуорна плазма
• · Нема метална контаминација во тенките филмови
• · Повисока отпорност на плазма од кварцот (без ерозивни јами)
• · Одржува електрична изолација >10¹⁴ Ω·cm дури и по долготрајна употреба

Алтернативен материјал — силициум нитрид (Si₃N₄):

За апликации за кои е потребна уште поголема цврстина на кршење (6,2 MPa·m¹/²) и подобра отпорност на термички шок (коефициент на експанзија 3,2×10⁻⁶/℃), достапни се прстени од Si₃N₄. Сепак, алумината е поекономична за повеќето CVD/PVD апликации. Ве молиме наведете го претпочитаниот материјал при нарачката.

Прилагодување:

• · Дупки за вдлабнатини, скалести профили или контрадупки за монтирање
• · Површина обложена со Y₂O₃ за подобрена отпорност на плазма (опционално)
• · Ласерско гравирање на бројот на делот / лотов код

Забелешка:Горенаведените податоци строго ја следат приложената табела на својства на Al₂O₃. За прстените Si₃N₄, погледнете го посебниот приложен технички лист за Si₃N₄.