ST.CERA прилагоден полупроводнички керамички фокусен прстен
Да бидат изработени од високочистота (над 99,5%) алуминиумска керамика, формирани со ладно изостатско притискање и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со своите карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација.
Со карактеристики на отпорност на висока температура, отпорност на корозија, отпорност на абење и изолација, керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас подолго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
