12-инчен вакуумски стегач од алуминиум за обработка на плочки од 300 mm

Вакуум стегалката од 12 инчи на St.Cera е прецизно изработена од 99,8% алумина со висока чистота (Al₂O₃) за ракување со плочки од 300 mm. Стегалката има фино жлебеста површина (ширина на жлебот 0,5–1,0 mm, чекор 2–3 mm) за да се обезбеди рамномерна распределба на вакуумот низ целиот дијаметар од 300 mm. Рамноста се одржува во рамките на 5 μm, овозможувајќи фиксирање на плочките без искривување за време на сечење, брусење одзади и инспекција. Високата цврстина на свиткување (361 MPa) и тврдост (16 GPa) на материјалот гарантираат долгорочна димензионална стабилност дури и при повторени вакуумски циклуси.

Спецификации (врз основа на 99,8% Al₂O₃):

Апликации:

 сечење и шкрипење на плочки од 300 мм
 Мелење на задната страна на вафлите (тенка потпора за вафлите)
 Оптичка инспекција и сондирање
 Привремено лепење/отлепување стеги

Производство:

ЦПУ брусена и прелиена до конечна рамност, жлебеста со дијамантски тркала, ултразвучно исчистена и спакувана во чиста просторија од класа 100. Секоја стега е 100% проверена за рамност (ласерски интерферометар) и длабочина на жлебот (профилометар).

Предности:

 Ниско генерирање на честички (≤0,05 честички/cm²)

 Хемиски инертен на растворувачи и киселини

 Површина безбедна за ESD (отпорност >10¹³ Ω·cm)

Достапни се прилагодени шаблони за вакуумски отвори и задни отвори.