Керамички ефектор од силициум карбид (SiC) – висока цврстина за ракување со плочки на висока температура
Крајниот ефектор од SiC керамика на St.Cera е произведен од силициум карбид со висока чистота (содржина на SiC 99,72%, слободен Si 0,05%) со користење на материјалот S1111. Нуди исклучителни механички својства: цврстина на свиткување 449 MPa (измерена), модул на еластичност 457 GPa (измерена) и тврдост Викерс 25–28 GPa (типична). Ниската густина (3,10–3,15 g/cm³, типична) обезбедува висока специфична цврстина, идеална за роботи за пренос на плочки со голема брзина. Со топлинска спроводливост од 120–150 W/m·K (типична) и коефициент на термичка експанзија од 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типична), овој краен ефектор ефикасно ја распрснува топлината и одржува димензионална стабилност за време на ракување со висока температура (до 1600–1700°C, без оптоварување). Црната/сивата боја и нултата апсорпција на вода обезбедуваат компатибилност со чисти простории.
Спецификации(врз основа на доставениот извештај за тестирање на SiC S1111 и типични вредности)):
| Имот | Вредност |
| Материјал | SiC (99,72% SiC, 0,05% слободен Si) |
| Боја | Црна/Сива |
| Густина | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Апсорпција на вода | 0% |
| Јачина на свиткување | 449 MPa (просек) |
| Отпорност на кршење | 3,12 MPa·m¹/² (просек) |
| Модул на еластичност | 457 просек на оценки |
| Викерсова тврдост | 25–28 GPA |
| Топлинска спроводливост (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимална температура на употреба (без оптоварување) | 1600–1700°C |
Апликации:
● Ракување со плочки на висока температура (пост-жарење, RTP, епитаксија)
● Плазма комори за гравирање кои бараат висока отпорност на ерозија
● Роботи за пренос со голема брзина (лесни, со голема цврстина)
Производство:
Синтерување на SiC прав → прецизно CNC брусење на профилот на раката и карактеристики на монтирање → површинско ламинирање → ултразвучно чистење. 100% димензионална инспекција и тест за истекување на хелиум за вакуумски апликации.
Контрола на квалитет:
● CMM инспекција на должина, ширина и рамност
● Тест на цврстина на свиткување по серија (според стандардот за извештај за тестирање)
● Визуелна инспекција под микроскоп за површински дефекти
Предности во однос на алуминиумот или металот:
● 2× поголем модул на еластичност (457 наспроти ~380 GPa за алуминиум оксид) – помало отклонување
● 3 пати поголема топлинска спроводливост – побрзо одведување на топлината
● Издржува >1600°C во воздух наспроти 800°C на алумина
● Помала густина од челикот – намалување на тежината од 40%
Прилагодување:
Должини 150–450 mm, облици на врвовите (фат за рабови, Бернули, рамни), шеми на прирабници за монтирање според OEM цртеж.
*Сите горенаведени механички податоци се од доставениот извештај за тестирање (серија S1111). Термичките вредности и вредностите на тврдост се типични за оваа класа на SiC; ве молиме контактирајте не за сертификација специфична за серијата.*
