Вакуумска стега на база на силициум карбид (SiC) за средини со висока температура и плазма
Керамичката стега на St.Cera базирана на SiC е произведена од силициум карбид со висока чистота (серија S1111, SiC 99,72%, слободен Si 0,05%). Испорачува измерена цврстина на свиткување од 449 MPa, цврстина на кршење од 3,12 MPa·m¹/² и модул на еластичност од 457 GPa. Типичната топлинска спроводливост на материјалот (120–150 W/m·K) и ниската термичка експанзија (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) овозможуваат брзо зголемување на температурата и минимално искривување на плочките за време на термичкиот циклус. Стегата може да се конфигурира како порозна вакуумска стега (униформен проток на гас) или жлебеста стандардна стега. Со максимална температура на употреба од 1600–1700°C (без оптоварување) и исклучителна отпорност на ерозија со плазма, оваа стега е идеална за обработка на плочки на висока температура (жарење, RTP) и агресивни комори за јоргање каде што стегите од алуминиум се деградираат.
Спецификации(врз основа на доставениот извештај за тестирање на SiC S1111 и типични вредности)):
| Имот | Вредност |
| Материјал | SiC (99,72% SiC, 0,05% слободен Si) |
| Густина | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Апсорпција на вода | 0% |
| Јачина на свиткување | 449 МПа |
| Отпорност на кршење | 3,12 MPa·m¹/² |
| Модул на еластичност | 457 просек на оценки |
| Викерсова тврдост | 25–28 GPA |
| Топлинска спроводливост | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Максимална температура на употреба (без оптоварување) | 1600–1700°C |
| Рамност (над 300 мм) | ≤5 μm |
| Завршна обработка на површината | Ra ≤0,4 μm (преклопен) |
Апликации:
● Високотемпературно отфрлање (жарење, RTP, епитаксијален раст)
● Плазма гравирана стега со висока отпорност на флуор
● Ракување со тенки плочки со рамномерно загревање/ладење
● Порозна стега за бесконтактна потпора на плочката
Производство:
Синтерување од SiC → прецизно брусење на рамност и површински профил → опционално формирање на порозна структура (за вакуумска стега) → прелистување → ултразвучно чистење. Секоја стега е 100% проверена за рамност (ласерски интерферометар) и униформност на вакуум (тест на проток).
Контрола на квалитет:
● CMM проверка на димензии (дијаметар, дебелина, позиции на дупки)
● Мерење на рамност според ASTM
● Тест за истекување на хелиум (за вакуумски стеги)
● Верификација на цврстината на свиткување по серија (реф. извештај од тестот)
Предности во однос на алуминиумските стеги:
● Повисока топлинска спроводливост (120–150 наспроти 32 W/m·K за алуминиум оксид) – 4 пати побрз пренос на топлина
● Понизок CTE (4,0 наспроти 7,2×10⁻⁶/℃) – го намалува термичкиот стрес на плочките
● Супериорна плазма отпорност – 10 пати подолг век на траење при флуорно јорганизирање
● Повисока максимална температура на употреба (1600°C наспроти 800°C за алумина)
Прилагодување:
● Порозна или жлебовита површина
● Дијаметар 100–450 mm, кружен или квадратен
● Прстен за заптивање на рабови или зонски вакуумски прегради
● Опција за метална подлога за монтирање со висока цврстина
Сите горенаведени механички податоци се од доставениот извештај за тестирање (серија S1111). Термичките вредности и вредностите на тврдост се типични за овој степен на SiC. Порозните SiC стеги бараат дополнителна обработка; ве молиме прашајте за специфична порозност и достапност на големината на порите.
