Керамички ефектор на крај Bernoulli — безконтактно ракување со плочки за тенки и кршливи плочки

Керамичкиот краен ефектор Bernoulli од St.Cera користи аеродинамичен лифт за ракување со плочки без физички контакт. Изработен од високочистота од 99,8% алумина (Al₂O₃) или силициум карбид (SiC), има прецизно обработени млазници кои исфрлаат гас под притисок за да создадат тенок воздушен филм помеѓу крајниот ефектор и плочките. Овој принцип на бесконтакт ја елиминира контаминацијата на задната страна, кршењето на рабовите и оштетувањето на површината, што го прави идеален за тенки (≤100 μm), кршливи или искривени плочки. Керамичката подлога обезбедува висока цврстина на свиткување (361 MPa за Al₂O₃; до 550–600 MPa за SiC), мала маса и одлична димензионална стабилност, обезбедувајќи повторливо позиционирање во роботи за пренос на плочки со голема брзина.

Забелешка за материјалите:Алуминиумот (Al₂O₃) е најшироко користениот материјал за керамички крајни ефектори во ракувањето со полупроводнички плочки поради неговата одлична комбинација на тврдост, електрична изолација, хемиска стабилност и економичност. Силициум карбидот (SiC) нуди поголема топлинска спроводливост, поголема тврдост, па дури и подобра отпорност на абење за најсложените апликации. Додека итриум-стабилизираната цирконија (ZrO₂) нуди висока цврстина на кршење на собна температура, таа се користи поретко во оваа апликација поради неговата поголема густина и различни карактеристики на термичка експанзија; може да се земе предвид за специфични сценарија каде што е потребна исклучителна цврстина на кршење. Ве молиме консултирајте се со нашиот технички тим за упатства за избор на материјал.

Спецификации(врз основа на 99,8% Al₂O₃):

Принцип на работа:

Компримиран воздух или азот (0,2–0,6 MPa) се внесува преку внатрешни канали и излегува преку прецизни млазници. Забрзаниот проток на воздух создава зона со низок притисок над крајниот ефектор (Бернулиев ефект), генерирајќи сила на кревање што ја поддржува плочката на растојание од 50–200 μm. Не постојат вакуумски дупки или влошки во контакт со задната страна на плочката.

Апликации:

• · Ракување со тенка плочка (≤50 μm) по брусење одзади
• · Транспорт со искривена плочка (на пр., по CVD или жарење)
• · Трансфер на сафирна подлога од соларни ќелии и LED диоди
• · Автоматизација на чисти простории што бара нула генерирање на честички
• · Ракување со стаклени панели во производството на дисплеи

Процес на производство:

Керамичка подлога синтерувана од прашок со висока чистота → 5-осна CNC обработка на гасни канали и отвори на млазниците (дијаметар 0,3–1,0 mm, толеранција ±0,01 mm) → површинско прелистување до Ra ≤0,4 μm → ултразвучно чистење → тест за истекување на хелиум (гасни канали). Не е потребно премачкување - голата керамичка површина е хемиски инертна и незагадува.

Контрола на квалитет:

• · 100% димензионална инспекција (CMM) на позициите на млазниците, должината на рачката и рамноста
• · Тест за униформност на протокот на воздух: пад на притисок ≤5% низ сите млазници
• · Тест за протекување: гасните канали се запечатени на 0,6 MPa, без пад на притисок повеќе од 30 секунди
• · Визуелна инспекција под 20× микроскоп за микропукнатини или вдлабнатини

AПредности во однос на конвенционалните ефектори на контактните краеви:

• · Нула контаминација на задната страна на плочката — без механички контакт
• · Без кршење на рабовите или кршење на тенките плочки
• · Се справува со искривени плочки (до 1 мм лак) со стабилен отвор
• · Ги елиминира одржувањето на вакуумскиот генератор и порозните стеги
• · Керамичката конструкција е отпорна на абење и хемиски напад

Прилагодување:

• · Достапно за големини на плочки од 200 mm, 300 mm или по нарачка
• · Модели на млазници за гас: прави, аголни или вртложни типови
• · Материјали: алуминиум оксид (стандарден) или силициум карбид (за највисока топлинска спроводливост и отпорност на абење)
• · Должина на рачката, прирабница за монтирање и локација на отворот за гас според цртежот на OEM

Ограничувања:

Имплементацијата на Бернулиевиот принцип (дизајн на млазницата, воздушен отвор) е надвор од опсегот на дадените табели со својства на материјалот. Горенаведените механички и термички својства строго ги следат дадените листови со податоци за 99,8% Al₂O₃. Не се очекува влошување на перформансите на керамиката под проток на гас под притисок врз основа на овие својства на материјалот. За плочки чувствителни на проток на гас (на пр., MEMS со кршливи структури), притисокот на гасот и дизајнот на млазницата треба соодветно да се прилагодат.