Фокусен прстен од комора со висока чистота од алуминиум оксид за системи со плазматско гравирање и CVD

Фокусниот коморен прстен на St.Cera е критична компонента на комплетот за процесирање што се користи во опрема за плазматско јодирање, CVD и PVD полупроводничка опрема. Изработен од 99,8% високочистота алумина (Al₂O₃), прстенот го опкружува работ на плочката за да ја ограничи плазмата и да ја оптимизира аголната распределба на јоните, со што се подобрува униформноста на јодирањето низ површината на плочката. Материјалот нуди исклучителна отпорност на плазма, висока диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m) и термичка стабилност до 1600°C, обезбедувајќи долгорочна сигурност во агресивни средини со плазма базирана на флуор или хлор. Прецизното заземјување на ID/OD и рамноста (≤10 μm) овозможуваат прецизно позиционирање на работ на плочката, намалувајќи ги дефектите на работ и генерирањето на честички.

Спецификации(врз основа на 99,8% Al₂O₃):

Апликации:

• · Диелектрични фокусни прстени во комора за багревање (оксидно, нитридно багревање)
• · Силиконски прстени за рабови на комората за гравирање
• · Комплет за процесирање на CVD комора, прстени
• · PVD штитник на комората и стегачки прстени

Процес на производство:

Правот од алумина со висока чистота е изостатички пресуван → зелено обработен до речиси нето форма → синтеруван на 1600°C → CNC дијамантско брусење на ID, OD и дебелина → прелистување за да се постигне рамност ≤10 μm → ултразвучно чистење → 100% CMM инспекција. Површинската завршна обработка Ra ≤0,4 μm го минимизира адхезијата на честичките.

Контрола на квалитет:

• · 100% димензионална инспекција (ID, OD, дебелина, паралелизам)
• · Тест за пенетрантна боја за микропукнатини (пукнатини не се дозволени)
• · Визуелна инспекција под микроскоп од 20× — нема чипови, празнини или промена на бојата
• · Тест за диелектрична цврстина според ASTM D149 (земање примероци)

Предности во однос на силиконските или кварцните фокусни прстени:

• · 5–10 пати подолг животен век во флуоројаглеродна плазма
• · Нема потрошни честички од ерозија што би ги контаминирале плочките
• · Повисоката диелектрична цврстина спречува искрење
• · Одржува рамномерност и димензионална точност во текот на илјадници RF часови

Алтернативен материјал — Итриум-стабилизиран циркониум (ZrO₂):

За апликации што бараат поголема цврстина на кршење (на пр., комори со чести термички циклуси или механички шокови), достапни се фокусни прстени ZrO₂ (густина 6,03 g/cm³, цврстина на свиткување 1000 MPa, цврстина на кршење 5–8 MPa·m¹/²). Сепак, алумината нуди подобра економичност и е индустриски стандард за повеќето апликации на фокусни прстени.

Прилагодување:

• · Профили за скали, дупки за рампи или монтажни дупки според цртежот на клиентот
• · Y₂O₃ облога за подобрена отпорност на плазматска ерозија (дебелина 20–100 μm)
• · Ласерско обележување на бројот на делот, кодот за датум или ознаките за усогласување

Забелешка:Сите податоци строго ја следат приложената табела за својства на Al₂O₃. За спецификациите на ZrO₂, погледнете го приложениот технички лист за циркониум. Дизајните на прстените за фокусирање може да бараат патентно одобрение — клиентите се одговорни за проверка на правата за интелектуална сопственост.