-
Роботска рака од керамичка алумина со висока чистота за ракување со плочки
Роботската рака од алуминиум-керамика на St.Cera е прецизно изработена од 99,8% Al₂O₃ (алумина) со висока чистота. Таа комбинира исклучителна цврстина на свиткување (361 MPa), висока тврдост (16 GPa) и мала густина (3,93 g/cm³), што резултира со лесна, но цврста рака за пренос на полупроводнички плочки. Коефициентот на термичка експанзија на материјалот (7,2×10⁻⁶/°C) е блиску до силициумот, минимизирајќи ја термичката несовпаѓање за време на обработката.
-
Керамички ефектор на крај Bernoulli — безконтактно ракување со плочки за тенки и кршливи плочки
Керамичкиот краен ефектор Bernoulli од St.Cera користи аеродинамичен лифт за ракување со плочки без физички контакт. Изработен од високочистота од 99,8% алумина (Al₂O₃) или силициум карбид (SiC), има прецизно обработени млазници кои исфрлаат гас под притисок за да создадат тенок воздушен филм помеѓу крајниот ефектор и плочките. Овој принцип на бесконтакт ја елиминира контаминацијата на задната страна, кршењето на рабовите и оштетувањето на површината, што го прави идеален за тенки (≤100 μm), кршливи или искривени плочки. Керамичката подлога обезбедува висока цврстина на свиткување (361 MPa за Al₂O₃; до 550–600 MPa за SiC), мала маса и одлична димензионална стабилност, обезбедувајќи повторливо позиционирање во роботи за пренос на плочки со голема брзина.
-
Керамички краен ефектор обложен со тефлон – нелеплива површина за чувствително ракување со плочки
Керамичкиот краен ефектор обложен со тефлон (PTFE) од St.Cera комбинира високоцврста подлога од алумина со униформен PTFE слој со ниско триење (дебелина 15–30 μm). Облогата обезбедува екстремно низок коефициент на триење (≤0,1), одлична хемиска отпорност и својства што не лепат, спречувајќи лепење на плочките и елиминирајќи ја контаминацијата на задната страна. Основната керамичка подлога (99,8% Al₂O₃) нуди висока цврстина на свиткување (361–1000 MPa), отпорност на абење и термичка стабилност до 260°C (граница на обложување). Овој краен ефектор е идеален за ракување со деликатни, тенки или лепливи плочки (на пр., по фоторезист премачкување или хемиски процеси).
