Керамички прстен за заптивање од алуминиум оксид со висока чистота за заптивање на комора на висока температура
Керамичкиот заптивен прстен на St.Cera е дизајниран како алтернатива на полимерните О-прстени во екстремни средини каде што еластомерите се распаѓаат. Изработен од 99,8% алуминиум оксид со висока чистота (Al₂O₃), овој цврст заптивен прстен се користи во статички апликации за заптивање - обично поврзан со мек метал или графитна заптивка - за да обезбеди сигурно вакуумско или гасно задржување на температури до 800°C и во агресивни плазма или хемиски средини. Материјалот нуди нула испуштање гасови, висока компресивна цврстина (основна цврстина на свиткување 361 MPa) и хемиска инертност (отпорен на халогени, киселини и алкалии освен HF). Прецизно обложените површини за заптивање (рамност ≤5 μm, површинска грубост Ra ≤0,2 μm) обезбедуваат непропустлив контакт со спојните метални или керамички компоненти.
Спецификации(врз основа на 99,8% Al₂O₃):
| Имот | Вредност |
| Материјал | 99,8% Алумина (слонова коска) |
| Густина | 3,93 g/cm³ |
| Апсорпција на вода | 0% |
| Јачина на свиткување | 361 МПа |
| Компресивна цврстина (проценета) | >2000 MPa |
| Викерсова тврдост | 16 GPA |
| Термичка експанзија (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Максимална работна температура | 800°C (воздух), 1600°C (инертен) |
| Завршна површина (запечатувачка површина) | Ra ≤0,2 μm (преклопен) |
| Рамност (на 25 мм) | ≤5 μm |
| Стапка на истекување на хелиум | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (со соодветна заптивка) |
Апликации:
- · Статички заптивки на полупроводнички процесни комори (CVD, PVD, багревање)
- · Заптивки на вратата од печката отпорни на високи температури
- · Вакуумски прирабници за провод
- · Затворање на садови за хемиски реактори
Процес на производство:
Изостатско пресување → синтерување на 1600°C → прецизно двострано превиткување за постигнување на ултра рамни, мазни површини за запечатување → закосување на рабовите → ултразвучно чистење. Секој прстен е 100% тестиран за протекување на детектор за протекување на хелиум со стандардна метална заптивка.
Контрола на квалитет:
- · CMM проверка на димензии (ID, OD, дебелина, паралелизам)
- · Површински профилометар за Ra и брановидност
- · Мерење на рамнината со употреба на оптички рамни
- · Тест за истекување на хелиум (метод на повратна притисок)
Предности во однос на полимерните О-прстени:
- · Издржува 800°C наспроти <300°C за FFKM
- · Нула испуштање гасови — без контаминација на вакуумската средина
- · Отпорен на сите плазма хемикалии (флуор, хлор, кислород)
- · Без компресивно стврднување или трајна деформација
- · Неограничен век на траење во чисти средини
Ограничувања (критички забелешки):
- · Не е О-прстен— тоа е крут керамички прстен на кој му е потребна мека заптивка (бакар, алуминиум или графит) за запечатување.
- · Не одговара на динамичко движење или големо несовпаѓање на прирабниците.
- · Повисока почетна цена од полимерните О-прстени, но подолгиот век на траење ги намалува трошоците за сопственост.
- · Кршливо — ракувајте внимателно; избегнувајте удар од точка или напрегање со свиткување.
Забелешка:Горенаведените податоци строго ја следат доставената табела со својства на Al₂O₃. Не се дадени податоци за еластомерни материјали. Овој производ е статичен заптивен прстен, а не еластомерен О-прстен. Ве молиме потврдете дали ова ги задоволува барањата на вашата апликација.
