-
Керамички делови од високопрецизен керамички прстен од алуминиум
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
ST.CERA Керамички стегачи за полупроводничка опрема по нарачка
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Керамички ефектор од силициум карбид (SiC) – висока цврстина за ракување со плочки на висока температура
Крајниот ефектор од SiC керамика на St.Cera е произведен од силициум карбид со висока чистота (содржина на SiC 99,72%, слободен Si 0,05%) со користење на материјалот S1111. Нуди исклучителни механички својства: цврстина на свиткување 449 MPa (измерена), модул на еластичност 457 GPa (измерена) и тврдост Викерс 25–28 GPa (типична). Ниската густина (3,10–3,15 g/cm³, типична) обезбедува висока специфична цврстина, идеална за роботи за пренос на плочки со голема брзина. Со топлинска спроводливост од 120–150 W/m·K (типична) и коефициент на термичка експанзија од 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (типична), овој краен ефектор ефикасно ја распрснува топлината и одржува димензионална стабилност за време на ракување со висока температура (до 1600–1700°C, без оптоварување). Црната/сивата боја и нултата апсорпција на вода обезбедуваат компатибилност со чисти простории.
-
Вакуумска стега на база на силициум карбид (SiC) за средини со висока температура и плазма
Керамичката стега на St.Cera базирана на SiC е произведена од силициум карбид со висока чистота (серија S1111, SiC 99,72%, слободен Si 0,05%). Испорачува измерена цврстина на свиткување од 449 MPa, цврстина на кршење од 3,12 MPa·m¹/² и модул на еластичност од 457 GPa. Типичната топлинска спроводливост на материјалот (120–150 W/m·K) и ниската термичка експанзија (4,0–4,5×10⁻⁶/℃) овозможуваат брзо зголемување на температурата и минимално искривување на плочките за време на термичкиот циклус. Стегата може да се конфигурира како порозна вакуумска стега (униформен проток на гас) или жлебеста стандардна стега. Со максимална температура на употреба од 1600–1700°C (без оптоварување) и исклучителна отпорност на ерозија со плазма, оваа стега е идеална за обработка на плочки на висока температура (жарење, RTP) и агресивни комори за јоргање каде што стегите од алуминиум се деградираат.
-
Полупроводничка опрема Керамички резервни делови Керамички носачи
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Керамички прстен за брусење од алуминиумска легура со метална подлога за апликации за прелистување со висока цврстина
Прстенот за мелење алуминиум оксид на база на метал од St.Cera комбинира керамички слој од абење од алуминиум оксид со висока чистота (99,8% Al₂O₃) со прецизно обработена метална подлога (обично алуминиум или не'рѓосувачки челик). Овој хибриден дизајн обезбедува исклучителна отпорност на абење и хемиска инертност на керамиката на површината за мелење, додека металната основа додава механичка цврстина, лесно монтирање и отпорност на кршливо кршење. Слојот од алуминиум оксид нуди цврстина на свиткување од 361 MPa, Викерова тврдост од 16 GPa и термичка стабилност до 800°C. Металната основа е прилагодена со дупки за монтирање, локациски иглички или магнетни својства за интеграција во машини за ламинирање, планетарни брусилки и CMP опрема.
-
Керамички резервни делови за опрема за полупроводнички сонди
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
Прилагодена обработка на керамички вафл чак од Al2O3
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
ST.CERA Полупроводничка опрема за прилагодена керамичка плоча
Формирани со ладно изостатско пресување и синтерувани под висока температура, потоа прецизно обработени и полирани, керамичките резервни делови можат да ги задоволат сите строги барања на полупроводничката опрема со нејзините карактеристики на отпорност на абење, отпорност на корозија, ниска термичка експанзија и изолација. Керамиката може да се користи во многу видови опрема за производство на полупроводници под услови на висока температура, вакуум или корозивен гас долго време.
Направен од прав од алумина со висока чистота, обработен со ладно изостатско пресување, синтерување на висока температура и прецизна завршна обработка, може да достигне толеранција на димензии од ± 0,001 mm, завршна обработка на површината Ra 0,1, отпорност на температура 1600℃.
-
12-инчен вакуумски стегач од алуминиум за обработка на плочки од 300 mm
Вакуум стегалката од 12 инчи на St.Cera е прецизно изработена од 99,8% алумина со висока чистота (Al₂O₃) за ракување со плочки од 300 mm. Стегалката има фино жлебеста површина (ширина на жлебот 0,5–1,0 mm, чекор 2–3 mm) за да се обезбеди рамномерна распределба на вакуумот низ целиот дијаметар од 300 mm. Рамноста се одржува во рамките на 5 μm, овозможувајќи фиксирање на плочките без искривување за време на сечење, брусење одзади и инспекција. Високата цврстина на свиткување (361 MPa) и тврдост (16 GPa) на материјалот гарантираат долгорочна димензионална стабилност дури и при повторени вакуумски циклуси.
-
Краен ефектор од алуминиумска керамика со интегрирани вакуумски канали
Вакуумскиот краен ефектор од алуминиум од St.Cera интегрира прецизно обработени вакуумски канали и вшмукувачки отвори директно во телото од алуминиум од 99,8% висока чистота. Овој дизајн ги елиминира надворешните вакуумски перничиња, овозможувајќи директно собирање на плочките со униформна сила на држење. Високата цврстина на свиткување (361 MPa) и тврдоста (16 GPa) на материјалот обезбедуваат долгорочна димензионална стабилност при повторени вакуумски циклуси. Рамноста низ површината на плочките се одржува во рамките на 10 μm, спречувајќи стрес и кршење на плочките. Вакуумските отвори се наоѓаат на задната монтажна прирабница за лесна интеграција со OEM роботските раце.
-
ESD-безбедни алуминиумски керамички делови за ракување со плочки чувствителни на статички електрицитет
Деловите од алуминиумска керамика безбедни за ESD (електростатско празнење) на St.Cera се произведени од 99,8% Al₂O₃ со висока чистота со прилагодена површинска отпорност од 10⁶–10⁹ Ω/м², постигната преку патентиран процес на допирање или премачкување. Овие делови ефикасно го распрснуваат статичкиот полнеж, спречувајќи електростатско оштетување на чувствителните полупроводнички плочки и уреди. Основниот материјал ја задржува својата висока цврстина на свиткување (361 MPa), тврдост (16 GPa) и диелектрична цврстина (15×10⁶ V/m). Керамичките делови безбедни за ESD вклучуваат крајни ефектори, иглички за подигнување, водилки и прилагодени прицврстувачи за автоматизација на FAB.
